半導体フォトレジスト用感光ħポリーČリソックス」の生産能力増強~州事業所・福岡地区にフォトレジスト用リソマックス™およびフォトレジスト用リソマックス™の各量産設備を新設~
2024/06/12〶事業関ģ
三菱ケミカルグループ(以下Č当社グループčVはāフォトレジスト用感光ħポリーČリソックス&ٰ;」の生産能力を増強するためā三ケミカル州事業所・福岡地区ֽ福岡県北九州Vにおいて、A(フッ化アルゴン)フォトレジスト用リソックス&ٰ;およびE(極端紫外線)フォトレジスト用リソックス&ٰ;の各量産設備を新設することを決定しました。
フォトレジスト用感光ポリーは、半導体の回路パターンをウエハーに転写するフォトリソグラフィー工程で使用されるフォトレジストの主成分となる樹ɡすĂ当社グループのリソマックス&ٰ;はā金属含量や不純物が少ないため、半導体の回路の微細化にともな高度な品質要ɡ対応できることからā多くのフォトレジストメーカーに採用されています〱でも、一層の微細化に不可欠なフォトレジストおよびフォトレジストは日本企業が圧倒的なシェアを持ちā今後も場成長が見込まれることから、ʦ料でɡリソマックス&ٰ;の需要も睶実に拡大することが見込まれますĂ
当社グループは現在ā関東事業所・鶴見地区ֽ神奈川県横Vでリソックス&ٰ;を生産していますがā拡大する需要に対応するととɡサプライチェーンの強靭化を図るためā州事業所・福岡地区に量産設備を新設することとしましたɡれにより、Aフォトレジスト用リソマックス&ٰ;は生産能力が2ո上になるととɡ、Eフォトレジスト用リソマックス&ٰ;の初めての量産を開始しますĂ
当社グループはā半導体製Ġ工程においてさまざまな材料およびサービスをラインナップしており、引き続き高品質かつ安定的な供給を行なことで半導体業界に貢献していきますĂ

リソマックス™〶〶〶〶〶〶〶〶〶〶〶 フォトレジストの役割
リソマックス&ٰ;製品サイト
三菱ケミカルグループの半導体関ģ製品・サービス紹介サイト
/news_release/pdf/01686/01939.pdf
ニュースリリースに記載している情報は、発表日時点のものですĂ現時点では、発表日時点での情報と異なる場合がありますのでāあらかӂご承くださいĂ
フォトレジスト用感光ポリーは、半導体の回路パターンをウエハーに転写するフォトリソグラフィー工程で使用されるフォトレジストの主成分となる樹ɡすĂ当社グループのリソマックス&ٰ;はā金属含量や不純物が少ないため、半導体の回路の微細化にともな高度な品質要ɡ対応できることからā多くのフォトレジストメーカーに採用されています〱でも、一層の微細化に不可欠なフォトレジストおよびフォトレジストは日本企業が圧倒的なシェアを持ちā今後も場成長が見込まれることから、ʦ料でɡリソマックス&ٰ;の需要も睶実に拡大することが見込まれますĂ
当社グループは現在ā関東事業所・鶴見地区ֽ神奈川県横Vでリソックス&ٰ;を生産していますがā拡大する需要に対応するととɡサプライチェーンの強靭化を図るためā州事業所・福岡地区に量産設備を新設することとしましたɡれにより、Aフォトレジスト用リソマックス&ٰ;は生産能力が2ո上になるととɡ、Eフォトレジスト用リソマックス&ٰ;の初めての量産を開始しますĂ
当社グループはā半導体製Ġ工程においてさまざまな材料およびサービスをラインナップしており、引き続き高品質かつ安定的な供給を行なことで半導体業界に貢献していきますĂ
- 立 地 三菱ケミカル株会社 九州事業所・福岡地区
〶〶〶〶〶〶〶〶〶(福岡県北州徺八幡西区黒崎城石1-1)
〶〶〶〶〶〶〶〶〶〶〶- 製 品 フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス™」
- 稼働時期(予定V〶〶Ĵフォトレジスト用リソマックス&ٰ;〶〶2025年10

リソマックス™〶〶〶〶〶〶〶〶〶〶〶 フォトレジストの役割
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